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激光硼扩


8500pcs/hr


产能

0.04%


碎片率(≤)

80-90μm


线宽

产品说明

利元亨光伏硼掺杂机应用双线独立运行的模块化设计,采用红外连续激光方案,设备满足8500pcs/h产能,以及碎片率≤0.04%。激光掺杂后光电转化率满足0.25%,成为TOPCon电池降本增效的利器。

产品亮点

配置  保障硅片上下料的精度和稳定性、四个激光工位同时加工、人工兼容智能物流上下料模式
兼容】  多种光学系统、高精度视觉定位 、高精度激光图形、同步⽀持AOI测、⽅阻检测等多功能扩展
优势  对硅片进行全方位保护,防止硅片受损,提升良率,满足不同客户的定制需求



设备参数

产能8500pcs/hr碎片率≤0.04%
正常运行时间>95%单机良率≥99.9%
线宽80-90μm硅片厚度100-200μm
电池片兼容宽度182-230mm

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