该激光系统用于磷掺杂选择性扩散工艺, 形成重掺杂区域以降低电阻。可提供在线或离线两种生产方式。

电池片尺寸：158mm x 158mm ~ 230mm x 230mm，厚度150~250μm

产能：≥7500P/H

碎片率≤0.03%

开机率≥98.5%，故障率≤1%

激光波长：532nm

激光功率：40W

激光脉宽＜25ns/0-500kHz连续可调

激光扫描方式：振镜扫描 ，扫描范围：220*220mm

图形精度：±15μm

除尘及过滤效率：除尘≥95%  过滤≥99%